一台開價近3億美元,Intel、三星、台積電還搶著要!ASML第二代EUV光刻機何時出?

一台開價近3億美元,Intel、三星、台積電還搶著要!ASML第二代EUV光刻機何時出?

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ASML是全球唯一一家量產EUV光刻機的廠商,而無論是台積電、三星、英特爾的7nm、5nm及未來的3nm、2nm製程晶片,都要依賴他們提供EUV光刻機。依照過去的數據,目前EUV光刻機一台的售價就超過1億美元,成本極高,但是依然供不應求。

同時,對於半導體廠商來說,他們更急著的,是ASML何時才能推出第二代的EUV光刻機。

一台開價近3億美元,Intel、三星、台積電還搶著要!ASML第二代EUV光刻機何時出?

ASML的EUV光刻機目前使用的還是第一代,EUV光源波長在13.5nm左右,物鏡的NA數值孔徑是0.33,發展了一系列型號。

其中最早量產出廠的是NXE:3400B,產能有限,一小時生產晶圓是125PWH,目前的出貨主力是NXE:3400C,產能提升到135WPH,今年底還有NXE:3600D系列出貨,產能再進一步提升到160WPH,不過價格也會提升到1.45億美元了。

但是,現在第一代的EUV光刻機的NA指標太低,解析度不夠。所以半導體廠商的奈米製程也無法突破。而在ASML的規劃中,第二代EUV光刻機的型號將是N XE:5000系列,其物鏡的NA將提升到0.55,進一步提高光刻精度,半導體工藝想要突破1nm製程,就必須靠第二代光刻機。

然而NA 0.55的二代EUV光刻機沒那麼容易,原本預計最快2023年問世,現在,又有傳聞表示NXE:5000系列已經跳票,而且一下子就跳票三年,要到2025-2026年才有可能問世了。

不僅時間延期,二代EUV光刻機的價格也會大漲,預計會達到3億美元,是現有EUV光刻機的2-3倍,這就意味著未來的高階晶片的生產成本再度提升,就算真的達到1nm製程,也不見得付得起這個生產價格。

 

 

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