ASML年底傳將出貨新款EUV曝光機NXE:3800E，一台至少4億美元起跳

台積電今年要大規模量產3nm工藝了，三星也是，兩家還要在2025年左右量產2nm工藝，對EUV光刻工藝的需求更高，而ASML今年底也會出貨新款EUV曝光機NXE:3800E。

ASML是唯一能量產EUV曝光機的公司，而且換代了多次，主要是提升能效及產能，目前最新的型號是NXE:3600D，NXE:3800E計畫是年底出貨，進一步降低EUV曝光的成本。

NXE:3800E曝光機的曝光能力將達到30mJ/cm2，WPH每小時產能大約是195片晶圓，後續還會提升到220片晶圓/小時，產能比當前型號高出30%以上。

至於售價，NXE:3800E的價格到底多少，目前還沒有一個可以證實的說法，但是光是前代EUV曝光機就賣到1.5億美元以上，這兩年還有通膨等因素，價格至少4億美元起跳。

NXE:3800E曝光機今年底出貨的話，考慮到安裝、偵錯及生產的週期，未來台積電、三星會主要在2nm節點使用，而高NA孔徑的下一代曝光機要解決的是1nm及之後的技術。