無塵室機台維護不再靠人力？三星成立 AX/PI 專隊研發晶圓廠機器人，加速推進 2030 自主化生產

半導體先進製程的競爭早已不限於奈米微縮的晶片架構，無塵室內部如何透過極致的自動化壓低營運成本與人為干擾，成為下一個關鍵戰場。

南韓科技巨頭三星電子（Samsung Electronics）正加速將機器人戰略深度導入半導體產線，正式成立專責研發晶片廠專用機器人的獨立團隊，全面落實晶圓廠轉向人工智慧驅動自主生產基地的長期轉型藍圖。

抽調設備技術研究院精銳，AX/PI 專隊直攻產線維護痛點

根據南韓媒體《中央日報》（Korea JoongAng Daily）報導，三星近期在負責半導體核心命脈的裝置解決方案（Device Solutions, DS）事業部旗下，於全球製造與基礎設施技術部門中組建了名為「AX / PI」的專責團隊。該團隊的核心任務非常明確：專門負責晶片工廠自動化機器人的技術研發與實體落地部署。值得注意的是，團隊骨幹成員多數直接抽調自三星原有的設備技術研究院，這群工程師長年深耕設備開發、零組件在地化與自動化控制，對晶圓廠機台結構與運作具備深厚技術底蘊。

在具體切入點上，三星初期並未好高騖遠追求整條產線的無人化替代，而是精準鎖定機台設備的日常維護場景，目標是率先接替原本由外包廠商及現場工程師承擔的大量高重複性作業。

先抓標準化再談落地，晶圓廠封閉環境反成自動化天然溫床

儘管目標明確，這項半導體機器人計畫目前仍處於數據採集與基礎建置的早期階段。晶圓廠對微塵與震動的要求極為嚴苛，三星現階段的主要工作在於大量收集產線現場數據，並巨細靡遺地規劃機器人的移動路徑、專屬作業區域以及零組件存放點位。在讓機器人正式跨進半導體廠房之前，團隊必須先將各項維護流程與環境規範完成高度標準化，以確保產線運作的絕對穩定。

業界人士分析，相較於其他複雜多變的開放場景，半導體晶圓廠反而具備推進自動化的天然優勢：廠區內的機台設備位置永久固定、搬運與巡檢路線預先劃定，且廠房溫濕度與潔淨度高度可控，使得作業自動化的實現難度相對較低。事實上，半導體設備大廠科林研發（Lam Research，泛林集團）已於 2024 年推出名為「Dextro」的協作機器人，專門投入半導體設備維護，可熟練完成耗材安裝、螺絲緊固與機件清潔等重複工序，印證了晶圓設備維護走向機器人化的可行性。

值得釐清的是，三星內部在機器人布局上採取了分工明確的雙軌策略。設立於裝置體驗（Device eXperience, DX）事業部旗下的「RX 業務辦公室」，主要聚焦通用型人型機器人的前瞻技術探索與對外商業化落地；而本次新成立的 AX / PI 團隊，則是百分之百純粹服務於自家生產工廠內部的製造自動化改造。