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新聞 可製造5nm晶片的佳能奈米壓印裝置最快今年交付 ,價格估計僅為ASML同級曝光機的40% cnBeta 發表於 2024年1月29日 15:30 Plurk 這套裝置的工作原理和ASML的曝光機不同,並不利用光學圖像投影的原理將積體電路的微觀結構轉移到矽晶圓上,而是更類似於印刷技術,直接通過壓印形成圖案。
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