英特爾 18A 製程進度超前？首款 Panther Lake 處理器採用 High-NA EUV 量產

ASML 宣布，Intel Foundry 已在 Intel 18A 製程部分層使用 High-NA EUV，量產部分 Core Ultra Series 3（Panther Lake）處理器。若依雙方說法，英特爾成為全球第一家以 High-NA EUV 高產量出貨邏輯晶片的企業。

部分製程層完成雙重認證

Intel 18A 的部分製程層已完成 High-NA EUV 雙重認證，產品良率達到現有 NXE EUV 平台水準。雙方表示，未來仍會推進這項技術在後續製程節點的應用，意味著 High-NA EUV 正從研發設備走向量產流程。

2024 年，英特爾與 ASML 在美國俄勒岡州希爾斯伯勒研發基地完成首台商用 High-NA EUV 系統整合。英特爾也是第一家安裝並通過第二代 TWINSCAN EXE:5200B 驗收的企業；該系統相較 EXE:5000 提升產量、覆蓋精度並改善光源效能。

台積電董事長魏哲家先前也澄清，台積電並非不投資 High-NA EUV，而是已購入設備，現階段因成本與生產需求尚未投入量產。這顯示設備取得與真正形成量產效益，仍是兩件事。

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